UNIVERSIDADE FEDERAL DE SANTA CATARINA – UFSC DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA MECÂNICA – EMC LABORATORIO DE MATERIAIS – LABMAT LABORATÓRIO DE CARACTERIZAÇÃO MICROESTRUTURAL E ANÁLISE DE IMAGENS – LCMAI

MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA

Profa. Ana Maria Maliska

Microscopia Eletrônica de Varredura e Microanálise

MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA E MICROANÁLISE
1. Introdução 1.1. Preliminares 1.2. Introdução 1.3. Escopo do Trabalho 2. Princípios Básicos de Funcionamento do Microscópio Eletrônico de Varredura 2.1. Introdução 2.2. Breve Histórico 2.3. Componentes do MEV 2.4. Coluna Óptico-eletrônica 2.4.1. Canhão de Elétrons 2.4.2. Características da Fonte 2.5. Sistema de Lentes 2.6. Demagnificação do Feixe Eletrônico 2.7. …exibir mais conteúdo…

Uma das limitações da microscopia ótica é o aumento máximo conseguido que fica em torno de 2 000 vezes. Como conseqüência, pequenos detalhes estruturais não são possíveis de serem detectados através desta técnica. Nesta era de intenso avanço tecnológico, cada vez mais os cientistas têm a necessidade de observar, analisar e explicar corretamente os fenômenos que ocorrem na escala micrométrica ou submicrométrica. A microscopia eletrônica de varredura se apresenta como a técnica mais adequada, pois permite alcançar aumentos muito superior ao da microscopia ótica. Dependendo do material pode atingir até 900 000 vezes, mas para a análise de materiais normalmente o aumento é da ordem de 10 000 vezes. No caso da microscopia eletrônica a área ou o microvolume a ser analisado é irradiado por um fino feixe de elétrons ao invés da radiação da luz. Como resultado da interação do feixe de elétrons com a superfície da amostra, uma

Profª. Ana Maria Maliska

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i.exe

Microscopia Eletrônica de Varredura e Microanálise

série de radiações são emitidas tais como: elétrons secundários, elétrons retroespalhados, raios-X característicos, elétrons Auger, fótons, etc. Estas radiações quando captadas corretamente irão fornecer informações características sobre a amostra (topografia da superfície, composição,